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電渦流傳感器通過電渦流效應原理，準確測量被測體與探頭端面的相對位置，其特點是長期工作可靠性好、靈敏度高、抗干擾能力強、非接觸測量、響應速度快、不受油水等介質的影響，常被用于對大型旋轉機械的軸位移、軸振動、軸轉速等參數進行長期實時監測，可以分析出設備的工作狀況和故障原因，有效地對設備進行保護及預維修。
1、常見故障：（1）電渦流探頭損壞。（2）探頭導線與延伸電纜的連接頭松動。（3）延伸電纜與前置器的連接處松動。（4）前置器、延伸電纜故障。（5）延伸電纜接地。（6）探頭導線與延伸電纜的連接頭絕緣不好而接地。
2、處理方法：（1）更換電渦流探頭。（2）緊固探頭導線與延伸電纜的連接頭。（3）緊固延伸電纜與前置器的連接螺絲。（4）更換前置器、延伸電纜。（5）更換延伸電纜或將其破損接地部分用絕緣帶包好。（6）將探頭導線與延伸電纜的連接頭用熱縮管包裹好。
3、對常見故障處理方法的幾點建議：（1）更換電渦流探頭時應注意避免碰傷探頭，不可將連接導線多次纏繞。（2）探頭導線與延伸電纜的連接處為帶有鎖緊功能的鎖頭，在緊固時應避免用力過猛，以免損壞鎖頭。（3）緊固延伸電纜與前置器的連接螺絲不可用力過大，以免造成螺絲滑絲。（4）更換后的前置器應與探頭、延伸電纜型號一致，應將前置器放在鑄鋁的盒子內，避免有其他干擾信號影響測量精度。（5）更換延伸電纜時應注意電纜的盤管直徑不應太小，以免造成對電纜的損傷。電渦流傳感器一般規定盤管直徑不得小于55mm。（6）在處理探頭導線與延伸電纜的連接頭時應用熱縮管包裹，不要用電工膠帶，這樣油霧會溶解膠帶上的沾性物而污染接頭。在需打開探頭導線與延伸電纜的連接頭時，用刀片在接頭金屬處劃開一小口即可，在此過程中當心將電纜劃傷。